RT Conference Proceedings
T1 Diseño de antena óptica integrada de haz estrecho en tecnología silicon-on-insulator
A1 Ortega-Moñux, Alejandro
A1 Pereira-Martín, Daniel
A1 Hadij-El-Houati, Abdelfettah
A1 Ye, Winnie N.
A1 Melati, Daniele
A1 Xu, Dan-Xia
A1 Janz, Siegfried
A1 Sánchez-Postigo, Alejandro
A1 Wanguemert-Pérez, Juan Gonzalo
A1 Halir, Robert
A1 Molina-Fernández, Íñigo
A1 Schmid, Jens H.
A1 Cheben, Pavel
A1 Ginel-Moreno, Pablo
K1 Optoelectrónica
AB Las antenas ópticas acopladas en fase son un elemento clave en sistemas de Light Detectionand Ranging (LIDAR) integrados, en los que se necesita emitir un haz óptico con ancho angular estrecho en un amplio número de ángulos. En este trabajo se muestra una nueva topología de antena óptica integrada para la plataforma silicon-on-insulator (SOI). La antena presenta una gran longitud de 3.65 mm, lo que permite emitir un haz óptico cuyo ancho angular es de 0.025°, uno de los más estrechos reportados hasta la fecha en esta tecnología. El minimum feature size (MFS) de la geometría propuesta es compatible con los procesos de fabricación en masa basados en deep-UV (MFS > 80 nm).
YR 2021
FD 2021-07
LK https://hdl.handle.net/10630/22667
UL https://hdl.handle.net/10630/22667
LA spa
NO TEC2016-80718-R, P18-RT-1453, P18-RT-793, UMA18-FEDERJA-219, PID2019-106747RB-I00
NO Universidad de Málaga. Campus de Excelencia Internacional Andalucía Tech.
DS RIUMA. Repositorio Institucional de la Universidad de Málaga
RD 13 abr 2026