Diseño de antena óptica integrada de haz estrecho en tecnología silicon-on-insulator

Abstract

Las antenas ópticas acopladas en fase son un elemento clave en sistemas de Light Detection and Ranging (LIDAR) integrados, en los que se necesita emitir un haz óptico con ancho angular estrecho en un amplio número de ángulos. En este trabajo se muestra una nueva topología de antena óptica integrada para la plataforma silicon-on-insulator (SOI). La antena presenta una gran longitud de 3.65 mm, lo que permite emitir un haz óptico cuyo ancho angular es de 0.025°, uno de los más estrechos reportados hasta la fecha en esta tecnología. El minimum feature size (MFS) de la geometría propuesta es compatible con los procesos de fabricación en masa basados en deep-UV (MFS > 80 nm).